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        模塊一: 潔凈室基礎知識  



       潔凈室的定義
       潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

潔凈室介紹

  潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
  每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
  潔凈室的使用
  空態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設施)。它具備所有有關的服務和功能。但是,在設施內(nèi)沒有操作人員操作的設備。
  靜態(tài):各種功能完備、設定安裝妥當,可以按照設定使用或正在使用的潔凈室(設施),但是設施內(nèi)沒有操作人員。
  動態(tài):處于正常使用的潔凈室,服務功能完善,有設備和人員;如果需要,可從事正常的工作。


模塊二:潔凈室設計


(一)潔凈室設計前的準備工作及應收集的有關數(shù)據(jù)和資料

  A.收集有關潔凈室建設的政策,標準,規(guī)范

  1、潔凈度等級的國家標準和國際標準ISO14644

  2、“潔凈廠房設計規(guī)范”GB50073-2001

  3、“電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”(修訂中)

  4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范”(修訂中)

  5、“醫(yī)院潔凈手術部建筑技術規(guī)范”GB50333-2002

  6、“實驗動物環(huán)境及設施”GB14925-2001

  7、“生物安全實驗室建筑技術規(guī)范”GB50346-2004

  8、“潔凈室施工驗收規(guī)范”JGJ71-90

  9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗收規(guī)范”(制訂中)

  10、“采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設計規(guī)范”GB50019-2003

  11、“通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范”GB50243-2002

  12、“建筑設計防火規(guī)范”(修訂中)

  13、“高層民用建筑設計防火規(guī)范”GB50045-2001等。

  B.該項目的“可行性研究報告”以及上級主管部門對報告的批復意見;該項目的“設計任務書”和建設方對該項目建造的有關要求、意見和建議。

  C.該項目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。

  D.潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術條件和有關數(shù)據(jù)、資料:

  1、潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設備平面布置圖和設備清單,以及工藝對吊頂高度的要求。

  2、工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求,越具體越好。

  3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設備的安裝功率、效率、熱轉化系數(shù)和同時使用系數(shù)等。

  4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設備的局部排風量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。

  5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運行的班次、運行規(guī)律。

  E.潔凈廠房的建筑和結構的情況和有關的數(shù)據(jù)

  1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。

  2、潔凈室圍護結構(墻、地、頂、門、窗等)的建筑材料以及其熱工性能。

  3、建筑結構狀況、結構的承載能力,尤其是舊建筑的改造項目結構的安全十分重要。

  F.全廠冷源、熱源、電源的情況及供應

  1、冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應量。有無加濕用的蒸汽等。

  2、電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應量。

  G.地方消防、環(huán)保部門對該項目建設的要求和意見。

  H.其他相關專業(yè)(給水排水、氣體動力、建筑結構、強電弱電等)的要求和意見。

  I.設計時所用的設備、材料、配件的性能、參數(shù)和價格的資料。

  (二)凈化空調(diào)系統(tǒng)的負荷計算

 ?。ㄈ崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的劃分

  根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖,工藝專業(yè)提供的工藝設備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度,溫、濕度等環(huán)境的要求,即可進行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。

  A.凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則

  1、潔凈度,溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。

  2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng),可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。

  3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

  4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。

  5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。

  6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設計為一個系統(tǒng)。

  7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災和爆炸的房間不應合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。

  8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應單獨設系統(tǒng),而且應為不回風的直流系統(tǒng)。

  9、一個凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過大。一般情況下,凈化送風量不宜超過100,000m3/h,否則空氣處理設備過大、噪聲大、送回風管道大、占空間和面積大,使用也不靈活。

  10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時還應考慮到送風管、回風管、排風管以及水,電,氣等管線的布置,盡量作到合理、短捷、使用管理方便,盡量減少交叉和重疊。

  11、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風的熱濕和凈化處理可集中也可分散設置。

  B.工藝設備局部排風系統(tǒng)的劃分原則

  1、工藝設備的局部排風系統(tǒng)不宜過大,每個排風系統(tǒng)的排風點數(shù)不宜過多,這樣排風管理調(diào)節(jié)方便,排風效果好。

  2、一個排風系統(tǒng)不宜跨在兩個或兩個以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

  3、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸、火災、凝水、結晶和有害物的排風不應合為一個排風系統(tǒng)。

  4、使用規(guī)律不同房間和設備的排風不應合為一個排風系統(tǒng)。

 ?。ㄋ模崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)送風型式的比較選擇

  (五)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷、熱源

 ?。崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的節(jié)能

模塊三:潔凈室裝修,潔凈室工程裝修


  控管項目
  1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。
  2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
  3、溫度和濕度之控制。
  4、壓力之調(diào)節(jié)。
  5、有害氣體之排除。
  6、結構物與隔間之氣密性。
  7、靜電之防制。
  8、電磁干擾預防。
  9、安全因素之考慮。
  10、節(jié)能之考量。

  潔凈實驗室裝修設計的平面布局
 
潔凈實驗室裝修設計的平面布局
  潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準潔凈區(qū)和輔助區(qū)三
  外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置一些設備用,有的在外廊內(nèi)設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
  內(nèi)廊式:潔凈室設在外圍,而走廊設在內(nèi)部,這種走廊的潔凈度級別一般都較高,甚至和潔凈室同級。
  兩端式:潔凈區(qū)設在一邊,另一邊設準潔凈和輔助用房。
  核心式:為了節(jié)約用地、縮短管線,可以潔凈區(qū)為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔凈區(qū)的影響,減少了冷熱能耗,利于節(jié)能。
 
  潔凈實驗室裝修常用選材要求
  1、門窗:實驗室統(tǒng)一采用潔凈密封彩鋼鋼板門,門套為沙光鋁合金制作,門板為鋼化玻璃窗,下部分為彩鋼板填充。
  2、實驗室凈化區(qū)地面鋪貼專用PVC地板膠,防火等級為B1級,防酸、防堿、防腐蝕耐磨達到標準實驗室要求等級;
  3、實驗室墻體為采用防塵,光滑,耐燃,鋼板夾心的彩鋼板墻體固定采用50X30槽型鋁做地槽,地槽固定采用鋼釘加木塊固定;
  4、實驗室天花采用防塵,光滑,耐燃的彩鋼板,兩邊用槽型鋁封邊,彩鋼板與彩鋼板之間用中性瓷白玻璃膠密封,防止有縫滋生細菌;
  5、地面與墻面,墻面與墻面,墻面與天花板交接均采用半徑50mm的鋁合金圓弧處理;
  6、柱面、陰陽角處理:鋼板夾芯彩鋼板隔斷之間陽角處裝鋁合金外圓弧,隔斷與隔斷之間,隔斷與天花之間,隔斷與地面之間的陰角封R50鋁合金內(nèi)圓弧。圓角線三維匯交處安裝鋁合金頂球片,門口斷開處應收口,陽角柱與天花之交角。