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模塊一: 潔凈室基礎(chǔ)知識(shí)
潔凈室的定義
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
潔凈室的使用
空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設(shè)施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài)：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室（設(shè)施），但是設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員。
動(dòng)態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。
模塊二：潔凈室設(shè)計(jì)
（一）潔凈室設(shè)計(jì)前的準(zhǔn)備工作及應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料
A.收集有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策，標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)范
1、潔凈度等級(jí)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644
2、“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB50073-2001
3、“電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）
4、“制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）
5、“醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2002
6、“實(shí)驗(yàn)動(dòng)物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2001
7、“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2004
8、“潔凈室施工驗(yàn)收規(guī)范”JGJ71-90
9、“電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范”（制訂中）
10、“采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范”GB50019-2003
11、“通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范”GB50243-2002
12、“建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”(修訂中)
13、“高層民用建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”GB50045-2001等。
B.該項(xiàng)目的“可行性研究報(bào)告”以及上級(jí)主管部門對(duì)報(bào)告的批復(fù)意見(jiàn)；該項(xiàng)目的“設(shè)計(jì)任務(wù)書(shū)”和建設(shè)方對(duì)該項(xiàng)目建造的有關(guān)要求、意見(jiàn)和建議。
C.該項(xiàng)目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。
D.潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料：
1、潔凈廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單，以及工藝對(duì)吊頂高度的要求。
2、工藝對(duì)潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對(duì)濕度及精度、正壓、振動(dòng)、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求，越具體越好。
3、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時(shí)使用系數(shù)等。
4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。
5、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)行的班次、運(yùn)行規(guī)律。
E.潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)
1、潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。
2、潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。
3、建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力，尤其是舊建筑的改造項(xiàng)目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。
F.全廠冷源、熱源、電源的情況及供應(yīng)
1、冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。有無(wú)加濕用的蒸汽等。
2、電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。
G.地方消防、環(huán)保部門對(duì)該項(xiàng)目建設(shè)的要求和意見(jiàn)。
H.其他相關(guān)專業(yè)（給水排水、氣體動(dòng)力、建筑結(jié)構(gòu)、強(qiáng)電弱電等）的要求和意見(jiàn)。
I.設(shè)計(jì)時(shí)所用的設(shè)備、材料、配件的性能、參數(shù)和價(jià)格的資料。
?。ǘ﹥艋照{(diào)系統(tǒng)的負(fù)荷計(jì)算
?。ㄈ崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)的劃分
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對(duì)各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。
A.凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分原則
1、潔凈度，溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個(gè)系統(tǒng)，可減少系統(tǒng)管道的長(zhǎng)度和管道交叉。
3、有條件時(shí)可將4級(jí)、5級(jí)單向流和6級(jí)、7級(jí)、8級(jí)非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個(gè)系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時(shí)間不相同的潔凈室不宜合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨(dú)設(shè)計(jì)為一個(gè)系統(tǒng)。
7、混合后會(huì)產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)。
8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。
9、一個(gè)凈化空調(diào)系統(tǒng)不易過(guò)大。一般情況下，凈化送風(fēng)量不宜超過(guò)100,000m3/h，否則空氣處理設(shè)備過(guò)大、噪聲大、送回風(fēng)管道大、占空間和面積大，使用也不靈活。
10、凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分時(shí)還應(yīng)考慮到送風(fēng)管、回風(fēng)管、排風(fēng)管以及水,電,氣等管線的布置，盡量作到合理、短捷、使用管理方便，盡量減少交叉和重疊。
11、凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的熱濕和凈化處理可集中也可分散設(shè)置。
B.工藝設(shè)備局部排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則
1、工藝設(shè)備的局部排風(fēng)系統(tǒng)不宜過(guò)大，每個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)點(diǎn)數(shù)不宜過(guò)多，這樣排風(fēng)管理調(diào)節(jié)方便，排風(fēng)效果好。
2、一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)不宜跨在兩個(gè)或兩個(gè)以上的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
3、混合后產(chǎn)生劇毒、爆炸、火災(zāi)、凝水、結(jié)晶和有害物的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。
4、使用規(guī)律不同房間和設(shè)備的排風(fēng)不應(yīng)合為一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。
?。ㄋ模崈羰覂艋照{(diào)系統(tǒng)送風(fēng)型式的比較選擇
（五）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷、熱源
（六）潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能
模塊三:潔凈室裝修,潔凈室工程裝修
